TOMBO No.8803
ケミカルガード®
ケミカルガード®
TOMBO No.8803-HC/-HA/-HT
クリーンルームや半導体製造装置などに対応した低濃度のガス（アンモニア、酸、有機物など）を除去するフィルターです。独自のハニカム製造技術を応用し、吸着材・機能材を壁内に大量に担持することで、極めて低濃度（数μg/m3）のガス成分も高効率に除去することができます。
特長
- 極微細ハニカム構造による高接触面積により高除去率を、吸着容量の大きい吸着剤の選定により長寿命を実現させました。
種類
TOMBO No.8803-HC
塩基性ガス除去用ケミカルフィルター
アンモニア、トリメチルアミンなど
TOMBO No.8803-HA
酸性ガス除去用ケミカルフィルター
SOx、NOx、Clなど
TOMBO No.8803-HT
有機ガス用ケミカルフィルター
DOP、DEP、シロキサンなど高沸点有機物
その他
- 「ケミカルガード」「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標です。
- 禁止事項、注意事項はカタログ「半導体・FPD関連製品」をご参照ください。
