ウェットプロセス用ゴムOリング

リソグラフィー、洗浄、ウェットエッチングなどのプロセスで使用されるゴムOリングは、耐薬品性、純粋性はもとより、用途によっては耐オゾン性、非粘着性なども必要になっています。

活用する特性	製品名	色調	耐熱目安	耐薬品性					純粋性（溶出金属）	非粘着性
活用する特性	製品名	色調	耐熱目安	耐油	耐酸	耐アルカリ	耐溶剤	耐オゾン	純粋性（溶出金属）	非粘着性
耐薬品性	ブレイザーA	黒	210℃	◎	◎	◎	◎	◎	◎	○
耐薬品性	ふっ素ゴムFB	黒	200℃	◎	◎	○	○	○	◎	○
耐オゾン性	ブレイザーA	黒	210℃	◎	◎	◎	◎	◎	◎	○
耐オゾン性	ピュアラバー	透明	150℃	◎	◎	○	○	◎	◎	△
非粘着性	フロロプラス	黒	200℃	◎	○	△	△	△	△ (Mg、Ca)	◎
汎用品	ふっ素ゴムFA	黒	200℃	◎	○	△	△	△	△ (Mg、Ca)	○

評価記号の読み方：	◎、○、△の順に最適から不適になります。ただし、本表の評価は目安であり、個別の用途について保証するものではありません。