ドライプロセス用ゴムOリング

ドライエッチング、アッシング、CVDなどのドライプロセスで使用されるゴムOリングには、より高い耐熱性、耐プラズマ性、低放出ガス特性が必要になっています。

活用する特性	製品名	色調	耐熱目安	耐プラズマ性			低放出ガス特性	真空シール性	非粘着性
活用する特性	製品名	色調	耐熱目安	酸素	ふっ素	塩素	低放出ガス特性	真空シール性	非粘着性
耐熱性	ブレイザーネクスト	黒	335℃	◎	◎	◎	◎	○	○
耐プラズマ性	ブレイザーA	黒	210℃	◎	◎	◎	○	○	○
	ブレイザーFC	黒	200℃	○～◎			○	○	○
	ブレイザーFE	黒	200℃	◎～○	○	○	○	○	○
非粘着性	フロロプラス	黒	200℃	△	△	△	○	△	◎
汎用品	ふっ素ゴムFA	黒	200℃	△	△	△	△	◎	△

評価記号の読み方：	◎、○、△の順に最適から不適になります。但し、本表の評価は目安であり、個別の用途について保証するものではありません。実際のご使用にあたっては、実条件での試験確認を行うことをお奨めします。