TOMBO No.4500-PH
エネサーモPH
エネサーモ®PH
TOMBO No.4500-PH
クリーンルーム対応の着脱可能な配管加熱・保温用ジャケットヒーター。
ヒーター施工、制御盤設置、2次配線など、貴社のご要望に応じて対応いたします。
特長
- 着脱自在です。
- 低発塵性です。
- 最高使用温度200℃(さらに高温仕様ヒーターも設計可能です。)
- 低アウトガス(シロキサンは発生しない事を確認済みです。)
用途
- 半導体・液晶装置関連の機器・配管類の加熱
・CVD、ドライエッチング装置の排気配管のデポジット防止
・CVD、ドライエッチング装置の供給配管の液化防止
・ドライポンプ、除害装置の配管の加熱 - 食品機器関連の配管の加熱
その他
- 「エネサーモ」「TOMBO」はニチアス(株)の登録商標です。