TOMBO No.2670-PFW
ゴムOリング パーフロPFW
ゴムOリング パーフロPFW
TOMBO No.2670-PFW
耐プラズマ性に優れ、半導体製造のドライエッチング装置などで使用されます。
特長
- 耐熱目安※：200℃
- 標準硬度（DuroＡ）:70
- プラズマ暴露時の重量減少が少なく、耐プラズマ性に優れています。
※諸条件によって耐熱目安は異なります。
用途
- プラズマエッチング装置、プラズマCVD装置などのシール
その他
- 「TOMBO」はニチアス（株）の登録商標または商標です。
